薄膜電阻器設(shè)計(jì)和實(shí)驗(yàn)將有助于設(shè)計(jì)新一代電阻器

來(lái)源：萬(wàn)利隆電子人氣：發(fā)布時(shí)間：2020-11-13

薄膜電阻器可以應(yīng)用非常多電子產(chǎn)品，在很多產(chǎn)品設(shè)計(jì)、制作并測(cè)試了通過(guò)膜隔離孔的熱傳感器。這些孔已被證明在流動(dòng)存在的情況下增強(qiáng)了對(duì)導(dǎo)熱系數(shù)不同的氣體的辨別能力。以三個(gè)膜上薄膜電阻器為輸入，研究線性統(tǒng)計(jì)方法與人工神經(jīng)網(wǎng)絡(luò)模式識(shí)別技術(shù)，以單一傳感器解耦導(dǎo)熱系數(shù)與流量?jī)蓚€(gè)參數(shù)。此外，膜孔的加入使對(duì)流速的敏感性提高了10倍，對(duì)導(dǎo)熱系數(shù)的敏感性提高了2倍。這種傳感器設(shè)計(jì)加上著名的后處理技術(shù)將使新一代多參數(shù)傳感解決方案成為可能。

薄膜電阻器采用計(jì)算和實(shí)驗(yàn)相結(jié)合的方法，對(duì)一種低功耗熱微熱膜傳感器的幾何結(jié)構(gòu)進(jìn)行了研究和優(yōu)化。研究了八種不同加熱器和膜尺寸的CMOS設(shè)計(jì)的響應(yīng)和精度，發(fā)現(xiàn)它們的幾何形狀差異很大。研究發(fā)現(xiàn)，減小加熱器長(zhǎng)度可以提高電熱效率，當(dāng)減小膜的尺寸時(shí)，精度會(huì)有很大的降低。

薄膜電阻器的模擬表明，這一效應(yīng)是由于較高的溫度梯度，導(dǎo)致局部較強(qiáng)的自然對(duì)流流以上的測(cè)量電阻。但隨著流量的增加，由于強(qiáng)制對(duì)流的比例高于自然對(duì)流，降低的精度消失。薄膜電阻器設(shè)計(jì)和實(shí)驗(yàn)將有助于設(shè)計(jì)新一代低成本、低功耗的高精度MEMS熱流傳感器。

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