電流感應(yīng)電阻器采用計(jì)算和實(shí)驗(yàn)相結(jié)合測(cè)試

來(lái)源：萬(wàn)利隆電子閱讀量：2000發(fā)布時(shí)間：2020-11-12

電流感應(yīng)電阻器采用計(jì)算和實(shí)驗(yàn)相結(jié)合的方法，對(duì)一種低功耗電流感應(yīng)電阻器的幾何結(jié)構(gòu)進(jìn)行了研究和優(yōu)化。研究了八種CMOS設(shè)計(jì)在不同加熱器和膜尺寸下的響應(yīng)和精度，發(fā)現(xiàn)電流感應(yīng)電阻器隨著幾何形狀的變化而變化很大。結(jié)果發(fā)現(xiàn)，減小加熱器的長(zhǎng)度可以提高電熱效率，減小膜的尺寸可以大大降低電流感應(yīng)電阻器精確度。

電流感應(yīng)電阻器的模擬表明，這一效應(yīng)是由于較高的溫度梯度，導(dǎo)致局部較強(qiáng)的自然對(duì)流流以上的測(cè)量電阻。然而，由于強(qiáng)制對(duì)流比自然對(duì)流所占比例更高，隨著流量的增加，降低的精度消失。相信本文的研究將有助于設(shè)計(jì)新一代高精度MEMS熱流傳感器，實(shí)現(xiàn)低成本、低功耗的應(yīng)用。

最后我們考慮電感為L(zhǎng)時(shí)的響應(yīng)，這里給出了電流和外加電壓之間的關(guān)系，電感電路的響應(yīng)就像電容器一樣，可以看到電流與電壓的相位不一致。下面以時(shí)間相量和波德形式顯示了包含單個(gè)電感器的電路的阻抗響應(yīng)。在一個(gè)類(lèi)似的方式，電容器的“電阻”，以電流流動(dòng)給出感應(yīng)電抗Xl，它有一個(gè)大小和相位，這可以用歐姆定律來(lái)預(yù)測(cè)，歐姆定律告訴我們電路電阻(在這種情況下是Xl)等于歐姆定律。

這告訴我們感應(yīng)電抗的大小總是有一個(gè)90度角，通常用復(fù)數(shù)形式寫(xiě)成jXl或極性形式感應(yīng)電阻，我們現(xiàn)在有了分析由上述元件組成的串聯(lián)或并聯(lián)電路所必需的基本信息。由于電化學(xué)分析中感興趣的大部分電路都是電阻和電容的組合，盡管對(duì)電感電路的擴(kuò)展研究不需要進(jìn)一步的發(fā)展。

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